光學平面度表面儀
SuperView W1 光學 3D 表面轮廓仪
SuperView W1 光學 3D 表面轮廓仪


1、産品形貌

    SuperView W1光學3D表面表面儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技術爲道理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D圖像,通過體系軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,並獲取反映器件表面質量的2D3D參數,從而實現器件表面形貌3D测量的光學检测仪器。

    SuperView W1光學3D表面表面儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C电子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防兵工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何表面、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標准總計300余種2D3D參數作爲評價標准。

二、産品功能

    1)具有各種范例樣品表面微觀形貌的3D表面重修與測量功能;

    2)具有表面粗糙度和微觀表面的檢測功能,粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別;

    3)具有校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能;

    4)具有粗糙度分析、表面分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能;

    5)具有自動對焦、自動測量、自動多地區測量、自動拼接測量等自動化功能;

    6)具有一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

    7)具有wordexcel等數據報表導出功能。

3、應用領域

    对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺點、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特性进行测量和分析。

4、性能特色

1.高精度、高重複性

    1)采用光學干涉技术、精密Z向掃描模塊和優異的3D重修算法組成測量體系,保證測量精度高;

    2)獨特的隔振體系,能夠有用隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和氛圍中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生産車間環境中能穩定使用,獲得極高的測量重複性。

 

2.一體化操作的測量分析軟件

    1)測量與分析同界面操作,不必切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;

    2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

    3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多地區的測量與分析過程;

    4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

    5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存爲分析模板,批量樣品一鍵分析,並提供數據分析與統計圖表功能;

    6)可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標准的多達300余種2D3D參數。

 

3.精密操縱手柄

    集成XYZ三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物台平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 

 4.兩重防撞保護措施

    除初级的软件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,自動保護儀器,降低人爲操風格險。

 

5.雙通道氣浮隔振體系

    既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。


5、應用案例